- Revêtues de diamant CVD
- Structures microrépliquées avec contrôle précis
- Performances uniformes d'un disque à l'autre et sur l'ensemble de la surface de découpe non métallique
- Idéal pour les processus de nœud avancés sensibles à la contamination métallique
Reposant sur le savoir-faire de 3M en matière d'abrasifs, de céramiques et de microréplication, le conditionneur de pad 3M™ Trizact™ est un conditionneur novateur de CMP (Chemical Mechanical Polishing) pour la fabrication de semi-conducteurs de nœud avancés.
- Revêtues de diamant CVD
- Structures microrépliquées avec contrôle précis
- Performances uniformes d'un disque à l'autre et sur l'ensemble de la surface de découpe non métallique
- Idéal pour les processus de nœud avancés sensibles à la contamination métallique
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Applications
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CMP
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Matériau abrasif
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Céramique enduite de CVD
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Matériel du support
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Acier inoxydable
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Série du produit
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B5-M990
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Surface de travail abrasive
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B5-M990 Pattern
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Type de produit
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Conditionneur de pad diamanté
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