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Pad abrasif Diamant 3M™ Trizact™ - B5-M990-5S2 - Diamètre : 4.25 pouces

ID 3M 7100011650
  • Revêtues de diamant CVD
  • Structures microrépliquées avec contrôle précis
  • Performances uniformes d'un disque à l'autre et sur l'ensemble de la surface de découpe non métallique
  • Idéal pour les processus de nœud avancés sensibles à la contamination métallique
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Détails du produit

Reposant sur le savoir-faire de 3M en matière d'abrasifs, de céramiques et de microréplication, le conditionneur de pad 3M™ Trizact™ est un conditionneur novateur de CMP (Chemical Mechanical Polishing) pour la fabrication de semi-conducteurs de nœud avancés.

  • Revêtues de diamant CVD
  • Structures microrépliquées avec contrôle précis
  • Performances uniformes d'un disque à l'autre et sur l'ensemble de la surface de découpe non métallique
  • Idéal pour les processus de nœud avancés sensibles à la contamination métallique
Caractéristiques
Applications
CMP
Matériau abrasif
Céramique enduite de CVD
Matériel du support
Acier inoxydable
Série du produit
B5-M990
Surface de travail abrasive
B5-M990 Pattern
Type de produit
Conditionneur de pad diamanté
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